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      [光學平臺]光學氣浮平臺組成、測量方法介紹!

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      一、光學平臺的結構組成 1、優質平臺和面包板應具有全鋼結構,包括厚5毫米的頂板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過精確的壓膜工具制成,通過焊接平...

      文章標簽:光學氣浮平臺  光學平臺  

       
          一、光學平臺的結構組成
          1、優質平臺和面包板應具有全鋼結構,包括厚5毫米的頂板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過精確的壓膜工具制成,通過焊接平墊片保證其幾何間距。
          2、熱穩定性的關鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結構。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。
          3、鋼制的蜂窩芯結構從頂板延伸到底板,中間并無塑料或鋁質泄露管理結構,因此不會降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨脹系數。我們采用鋼質側板,這樣就消除了由于濕度而引起的環境不穩定因素。
          4、自動化加工系統平臺和面包板的特殊之處是采用自動軌道機械啞光表面加工,比老舊的平臺產品更加平滑、平整。這些平臺經過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米,為安裝部件提供了接觸表面。
          二、光學平臺的測量方法
          1、用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產生頻率響應譜。
          2、光學平臺的研發過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;但是,平臺四個角上的柔量往往都是最大的。因此公司發布的柔量曲線和數據都是通過平傳感器在臺四個角上測得的。
          3、產品都需經過獨立測試,并附帶一份單獨的測試數據報告和柔量曲線。這樣一來,就可以提供比采用單一尺寸柔量曲線表示所有產品特性的工業標準更數據。
          4、量曲線和數據是光學平臺的兩個比較重要的指標,量曲線和數據都是通過平傳感器在臺四個角上測得的,因此說明了最不理想情況下的數據結果。

      光學氣浮平臺
          三、光學隔振平臺作用
          振動來源主要分為來自系統之外的振動和系統內部的振動。地面固有振動,工作人員踩踏地板以及開、關門或墻壁碰撞等通過地面傳來的振動均屬系統之外的振動,這一類振動需通過光學平臺的隔振腿衰減;而來自系統內部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學平臺的桌面阻尼來隔絕。
          固有頻率
          固有頻率,顧名思義,為系統本身發生的振動的頻率。數值上來看,固有頻率等于共振頻率。考慮物塊與彈性懸臂梁組成的系統,固有頻率取決于兩個因素——物塊質量,以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數。質量減小或彈性系數減小可增大固有頻率;質量增大或懸臂梁彈性系數增大可降低固有頻率。

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